Við gasfasa fjölliðun

Við gasfasa fjölliðun eru gasfasa einliður og hvatar settar inn í reactor í tilteknu magni fyrir eins þrepa nýmyndun til að fá þurra fjölliðu. Forsenda gasfasafjölliðunar er sú að valmöguleiki og afrakstur hvata verður að vera nógu mikill og afurðin sem fæst þarf ekki að fjarlægja afgangshvata, sem getur stytt ferlið verulega.